各公司、廠商：
　　上海理工大學(xué)上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點實驗室因科研需求，特采購電子槍鍍膜機(jī)一臺。現(xiàn)在網(wǎng)上公開招供應(yīng)商，歡迎各單位參與投標(biāo)。
　　一、 設(shè)備要求：
　　1、設(shè)備名稱：電子槍鍍膜機(jī)
　　2、指標(biāo)：
　　（1）、真空室
　　直徑630毫米，不銹鋼，水冷，前門箱式
　�。�2）真空系統(tǒng)
　　真空系統(tǒng)配置：分子泵、直聯(lián)泵
　　排氣性能：極限真空8.0E-5Pa；
　　恢復(fù)真空：15分鐘之內(nèi)達(dá)到4.0E-3Pa
　　漏氣速率：低于9.0E-5Pa.m3/秒
　�。�3）工件：
　　球罩形工件盤兩套；
　　大角度掠入射蒸發(fā)夾具一套；
　�。�4）蒸發(fā)源
　　電子槍：功率10KW，電壓8KV（，電流0~1.25A（連續(xù)可變）
　　銅坩堝：水冷，光電定位
　　坩堝：坩堝為六穴坩堝
　　熱蒸發(fā)：熱阻電極三根，電源（3KW）
　　(5)烘烤
　　烘烤方式：碘鎢燈，從下往上烘烤
烘烤功率：烘烤4組，最高溫度300°C
　�。�6）膜厚監(jiān)測系統(tǒng)
　　配晶振型號：SQC310，單探頭
　　光學(xué)膜厚控制：波長范圍350-1100nm。
　　光路系統(tǒng)：傾斜下反射、上透射光路
　�。�7）充氣
　　配質(zhì)量流量計一套
　�。�8）采用觸膜屏控制系統(tǒng)：
　　具體功能：
　　1、真空系統(tǒng)自動
　　2、工件烘烤自動控制
　　3、蒸發(fā)自動控制
　�。�9）配10P冷水機(jī)一臺
　　二、投標(biāo)資料
　　對上述采購信息有意向的具有獨立法人資格，有相應(yīng)經(jīng)營范圍的廠商請于2011年4月11日（星期一）11：00前向上海理工大學(xué)設(shè)備招投標(biāo)辦公室提供下列相應(yīng)資料：
　　1．相應(yīng)單位資格材料：營業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記、產(chǎn)品銷售代理證明、法人授權(quán)證明等說明文件的復(fù)印件；
　　2．提交設(shè)備報價；
　　3．相應(yīng)單位的聯(lián)系地址，聯(lián)系人、聯(lián)系電話***
　　4．所有文件一式二份，并加蓋公章方為有效。
　　三、其他：
　　技術(shù)聯(lián)系***
　　投標(biāo)截止時間： 2011年4月11日（星期一）上午11：00 （標(biāo)書請密封并注明標(biāo)號）
　　標(biāo)書請寄：上海市軍工路516號上海理工大學(xué)第二辦公樓106室 郵編 200093
　　聯(lián)系電話***