各公司、廠商：
　　上海理工大學(xué)上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室因科研需求，特采購OLED器件制備系統(tǒng)一臺(tái)�，F(xiàn)在網(wǎng)上公開招供應(yīng)商，歡迎各單位參與投標(biāo)。
　　一、設(shè)備要求
　　1、設(shè)備名稱：OLED器件制備系統(tǒng)
　　2、技術(shù)指標(biāo)：
　　（1）真空室：含鍍膜室及手套箱各一套
　　鍍膜室凈尺寸：L×W×H:400×400×H450；不銹鋼方箱式，前后開門，前滑開門，配有金屬密封的觀察窗及腔室照明及膜厚儀等預(yù)留接口；
　　（2）真空系統(tǒng)
　　 排氣性能：優(yōu)于5.0 E-5Pa；（復(fù)合分子泵系統(tǒng)）
　 　恢復(fù)真空：從大氣抽至10-4Pa≤40min；
　　 漏氣速率：低于9.0E-5Pa.m3/秒
　�。�3）基片臺(tái)：
　　可裝載3英寸基片； 基片臺(tái)磁流體密封，可旋轉(zhuǎn)，加熱：室溫～300℃，PID 智能溫控系統(tǒng)；坩堝～樣品垂直距離≥300mm（可調(diào)整）；
裝載基片膜厚均勻性優(yōu)于±5﹪
　�。�4）蒸發(fā)源：
　　五組電阻蒸發(fā)源，有機(jī)及金屬蒸發(fā)，配坩堝擋板；配蒸發(fā)電源功率：1/2KW 可共蒸或分蒸；
　　(5) 鍍膜控制系統(tǒng)：邏輯控制及保護(hù)系統(tǒng)；
　　（6）膜厚監(jiān)測系統(tǒng)
　 采用進(jìn)口美國智能晶振膜厚儀在線監(jiān)測、控制膜厚，1套水冷探頭。
　　（7）冷卻循環(huán)及水冷保護(hù)系統(tǒng)，配循環(huán)水機(jī)，為鍍膜系統(tǒng)提供所需恒溫的冷卻循環(huán)水；
　　（8）設(shè)備驗(yàn)收：
　�、� 金屬Al膜：膜料鋁顆粒，膜厚>1μm，φ30mm，單片測量4個(gè)點(diǎn)，均勻性優(yōu)于±4﹪，片間均勻性優(yōu)于±5﹪，光潔度好，重復(fù)成膜一次；
　�、� 有機(jī)小分子Alq3膜，膜厚20nm,單片測量4個(gè)點(diǎn)，膜厚均勻性誤差±0.5nm，光潔度好，重復(fù)成膜一次。
　�。�9）手套箱技術(shù)要求：
　�、� 雙人單面手套箱：并同鍍膜機(jī)配合設(shè)計(jì)，有效無泄露對接及安裝
　　材質(zhì)：全不銹鋼結(jié)構(gòu)﹝Type 304﹞
　�、� 進(jìn)口手套；并配有照明及儲(chǔ)物架及標(biāo)準(zhǔn)預(yù)留接口
　�、� 真空系統(tǒng)：自動(dòng)控制；真空泵選用英國Edwards真空泵�？煞謩e對過渡艙進(jìn)行抽真空，并可實(shí)現(xiàn)隨時(shí)單獨(dú)控制。真空度≤－0.1MPa(大、小右過渡艙均要求抽真空 帶顯示)
　　④ 控制系統(tǒng)方式：控制單元采用德國Siemens PLC觸摸屏，操作菜單可選：中文。
　　包括自診斷、斷電自啟動(dòng)特性，具備壓力控制和自適應(yīng)功能。自動(dòng)控制、循環(huán)控制、密碼保護(hù)、真空室控制采用LCD顯示。
　�、� 循環(huán)系統(tǒng)控制：水、氧控制在<1ppm，設(shè)計(jì)凈化柱吸收容量：水1.3Kg 氧30L。
　　循環(huán)風(fēng)機(jī)、凈化柱、過濾器：均采用進(jìn)口廠家品牌。
　　⑥ 調(diào)節(jié)系統(tǒng)：通過PLC觸摸式調(diào)節(jié)（加熱、抽空、凈化、再生）全過程無需人為監(jiān)控。
　�、� 再生系統(tǒng)：用于凈化系統(tǒng)再次利用，使其活化；再生需要N2/H2或Ar/ H 2的混合氣體，其中H2占5-10%。
　 二、投標(biāo)資料
　　對上述采購信息有意向的具有獨(dú)立法人資格，有相應(yīng)經(jīng)營范圍的廠商請于2011年4月11日（星期一）11：00前向上海理工大學(xué)設(shè)備招投標(biāo)辦公室提供下列相應(yīng)資料：
　　1．相應(yīng)單位資格材料：營業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記、產(chǎn)品銷售代理證明、法人授權(quán)證明等說明文件的復(fù)印件；
　　2．提交設(shè)備報(bào)價(jià)；
　　3．相應(yīng)單位的聯(lián)系地址，聯(lián)系人、聯(lián)系電話***
　　4．所有文件一式二份，并加蓋公章方為有效。
　　三、其他：
　　技術(shù)聯(lián)系***
　　投標(biāo)截止時(shí)間： 2011年4月11日（星期一）上午11：00 （標(biāo)書請密封并注明標(biāo)號）
　　標(biāo)書請寄：上海市軍工路516號上海理工大學(xué)第二辦公樓106室 郵編 200093
　　聯(lián)系電話***