招標(biāo)編號(hào)：0730-1040GD04G003
中航技國(guó)際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司受買方委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)， 本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo) 方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：
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測(cè)量和控制單元
主要系統(tǒng)應(yīng)包括計(jì)算機(jī)、顯示器、控制器及電源裝置
系統(tǒng)尺寸：大約W2700*L3000*H2700 重量約7噸包括一個(gè)控制塔

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氣體處理流量要求
SiH4：60slm以上
NH3：200slm以上
PH3：75slm以上
NF3：100slm以上
H2：120slm以上
Ar：36slm以上
N2：1260slm以上

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缺陷偵測(cè)
FPI-6590F 在X/Y運(yùn)動(dòng)的臺(tái)面上掃描基板，從而獲得基板上的TFT 像素圖像進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換等圖像分析. 進(jìn)而發(fā)現(xiàn)缺陷并且報(bào)告給用戶.
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改造硬件要求
測(cè)定電極變更為高感度PH檢出電極。
拆除多余的一個(gè)試藥部，一個(gè)滴定Pump。
樣品采樣器更新。
乙二醇?xì)飧赘隆?

軟件要求
具備自診斷機(jī)能。

具備藥液添加的記錄功能。


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X – Y 臺(tái)面：
臺(tái)面：Gantry 架構(gòu)
線性光學(xué)尺的應(yīng)用，可提供精準(zhǔn)的位置（X and Y）回饋
在軟硬件控制下，X和Y軸運(yùn)動(dòng)范圍可控制在1750mm X 2100mm
校驗(yàn)后，臺(tái)面精度+/- 10 um (最大范圍)；重復(fù)精度：+/- 2 um
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管外徑≤12.7mm 的彎頭可在現(xiàn)場(chǎng)使用專用彎管器煨制，彎頭彎曲半徑等于或大于管徑的 10 倍(5 倍管外徑），且變形率小于 5％。彎管加工困難的地方可用成品彎頭；
管外徑大于 12.7mm 的管道彎頭應(yīng)采用成品彎頭。
當(dāng)安裝中斷或結(jié)束時(shí), 所有的系統(tǒng)都應(yīng)充氬氣保護(hù)，不得中斷，其流量應(yīng)保持 2-5L/min。
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叉手長(zhǎng)度： CVD用≥基板接觸1300mm+延長(zhǎng)部458.5mm+固定部180mm
AFM用≥基板接觸1300mm+延長(zhǎng)部338.5mm+固定部180mm
Array Check用≥基板接觸1300mm+延長(zhǎng)部458.5mm+固定部180mm
S/R 用LD≥基板接觸1300mm+延長(zhǎng)部458.5mm+固定部180mm
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卡匣
卡匣尺寸：1160(W)mm×1350(D)mm×898(H)mm
卡匣容量：20片
第一片玻璃距卡匣底部:68mm
卡匣兩側(cè)支撐的間距: 1295mm
卡匣有背部支撐桿


2、招標(biāo)文件售價(jià)：01-RMB 2000.00 Or USD 310.00 02-RMB 1000.00 Or USD 160.00 03-RMB 3000.00 Or USD 460.00 04-RMB 500.00 Or USD 80.00 05-RMB 1500.00 Or USD 230.00 06-RMB 2000.00 Or USD 310.00 07-RMB 3000.00 Or USD 460.00 08-RMB1000.00 Or USD160.00
3、購(gòu)買招標(biāo)文件時(shí)間：2010年11月27日至2010年12月17日 9時(shí)至16時(shí) 節(jié)假日除外
4、購(gòu)買招標(biāo)文件地點(diǎn)：北京市朝陽(yáng)區(qū)慧忠路５號(hào)遠(yuǎn)大中心Ｂ座２０層
5、投標(biāo)截止時(shí)間和開(kāi)標(biāo)時(shí)間：2010-12-17 10:00
6、開(kāi)標(biāo)地點(diǎn)：上海中航光電子有限公司
地 址：***
郵編：201108
電子郵箱***
電話：***
傳真：***
聯(lián)系人***
開(kāi)戶銀行（人民幣）：浦發(fā)銀行北京亞運(yùn)村支行
開(kāi)戶銀行（美元）：中國(guó)銀行總行營(yíng)業(yè)部
帳 號(hào)（人民幣）：91160155350000020
帳 號(hào)（美　元）： 00289708094014 SWIFT CODE：BKCHCNBJ