項目名稱：西安交通大學機械學院噴霧式光刻膠涂布裝置

招標編號: 西交實招（2010）S063號

招標單位：西安交通大學實驗室與資產管理處

西安交通大學根據(jù)國家招投標法律法規(guī)和學校管理要求, 擬以招標方式采購下列貨物。

一、    招標采購項目內容及數(shù)量：噴霧式光刻膠涂布裝置 1臺

噴膠機是現(xiàn)代光電子產業(yè)中光刻膠涂布的重要設備。可對不同尺寸和形狀的基片進行涂膠，最大涂膠尺寸達8”，得到厚度均勻的光刻膠層，同時可對大深寬比結構的側壁進行均勻涂膠；通過計算機系統(tǒng)控制器進行工藝參數(shù)的編輯和操作，對噴膠的關鍵使用性能要求如下：

1.        可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8”。

2.        可對不粘度的膠進行噴涂，供膠分辨率在15uL以內。

3.        可對大深寬比結構進行側壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。

4.        噴膠均勻性要求：單片表面≤ ±15%， 片間為 ≤ ±10%。

5.        計算機系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。

6.        可手動卸載基片。

7.        可對基片喝夾具加熱。

8.        噴膠室易清洗。

9.        供膠流速和流量可編程。

10.    供膠回吸量可調節(jié)。

11.    適用于所有光刻膠和聚合物。

12.    具有自動針管式膠液供給系統(tǒng)，可調節(jié)壓力控制及測量計，并具有膠液回吸功能。

13.    基片可對準。

二、投標人的必備資格要求：

（一）投標人必須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條之規(guī)定；

（二）  投標人要具有獨立法人資格、稅務登記證、相關貨物經(jīng)營許可證，具有良好的企業(yè)形象和信譽，良好的銀行資信狀況；

（三）投標人在近三年內沒有違法行為，在以往政府采購活動中沒有違規(guī)和違約行為。

三、投標報名或資格預審必須提供的文件：

（一）法定代表人授權委托書（加蓋公章）；

（二）生產商產品授權書原件；

（三）工商營業(yè)執(zhí)照副本原件和1份復印件（原件驗后歸還，復印件須加蓋公章）；

（四）《稅務登記證》、《中華人民共和國組織機構代碼證》原件和各1份復印件（原件驗后歸還，復印件須加蓋公章）。

四、報名時間：2010年10月14日至2010年10月24日

五、 報名地點：西安交通大學政府采購辦公室

地址：***

聯(lián)系人***

聯(lián)系電話***

電子郵箱***

傳真：***

郵編：710049　

歡迎符合條件的供應商參加投標。

注：投標人須對其所提供資料的真實性負責，如有作假，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)立即取消投標資格，并將其列入不良行為記錄名單，同時在網(wǎng)上進行實名通報，一至三年內禁止參加西安交通大學及其附屬單位的采購活動。