招標編號: | OITC-G10032233 |
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加入日期: | 2010.10.09 |
截止日期: | 2010.11.02 |
招標代理: | 東方國際招標有限責任公司 |
地 區(qū): | 北京市 |
內(nèi) 容: | 1 半自動清洗機 1套 否 2 擴散爐系統(tǒng) 1套 否 3 多晶硅低壓化學氣相淀積系統(tǒng) 1套 是 4 膜厚儀 1套 是 |
招標編號:OITC-G10032233
項目名稱:中國科學院微電子研究所2010年儀器設(shè)備采購項目(第十一批)
包號
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設(shè)備名稱
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數(shù)量
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是否允許采購進口產(chǎn)品
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1
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半自動清洗機
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1套
|
否
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2
|
擴散爐系統(tǒng)
|
1套
|
否
|
3
|
多晶硅低壓化學氣相淀積系統(tǒng)
|
1套
|
是
|
4
|
膜厚儀
|
1套
|
是
|
5
|
等離子氮化系統(tǒng)
|
1套
|
是
|
等離子化學增強氣相淀積
|
1套
|
是
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|
硅化物熱退火系統(tǒng)
|
1套
|
是
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接觸與互連濺射臺
|
1套
|
是
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|
快速熱退火系統(tǒng)
|
1套
|
是
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鎢化學氣相沉積系統(tǒng)
|
1套
|
是
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6
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多晶硅刻蝕機
|
1套
|
否
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