哈爾濱工業(yè)大學(xué)招標(biāo)采購(gòu)辦公室受用戶的委托，擬就場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)內(nèi)公開招標(biāo)。歡迎具有此項(xiàng)供貨能力、資信良好的國(guó)外制造商在境內(nèi)的辦事機(jī)構(gòu)及代理商前來(lái)投標(biāo)。
　　一、項(xiàng)目名稱：場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
　　二、招標(biāo)編號(hào)：HITZB-349
　　三、主要技術(shù)指標(biāo)：
　　3.1 場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡
　　3.1.1 產(chǎn)品配置要求
　　3.1.1.1 場(chǎng)發(fā)射透射電鏡主機(jī)一臺(tái)，包括：
　�。�1）電子顯微鏡基本單元 1套
　�。�2）普通單傾樣品臺(tái) 1臺(tái)
　�。�3）Be低背景雙傾樣品臺(tái) 1臺(tái)
　�。�4）空氣壓縮機(jī) 1套
　�。�5）冷卻水循環(huán)系統(tǒng) 1套
　�。�6）必備電鏡控制計(jì)算機(jī)等 1套
　　（7）設(shè)備正常運(yùn)行和保養(yǎng)所需的標(biāo)準(zhǔn)備品備件、專用工具 1套
　　3.1.1.2 一體化STEM系統(tǒng)一套，包括：
　�。�1）掃描透射附件（STEM） 1套
　　（2）高角環(huán)形暗場(chǎng)探頭（HAADF） 1套
　　3.1.1.3 一體化能譜儀系統(tǒng)（全套軟硬件及通信接口） 1套
　　3.1.1.4 一體化CCD相機(jī)及成像系統(tǒng)（全套軟硬件及通信接口） 1套
　　3.1.1.5 EELS及能量過(guò)濾成像系統(tǒng)（全套軟硬件及通信接口） 1套
　　3.1.1.6 電子衍射分析包 　　　　　　　　　 　　　　　　　　 　1套
　　3.1.1.7 備用場(chǎng)發(fā)射燈絲 1套
　　3.1.1.8 備用光闌　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 4套
　　3.1.1.9 配套設(shè)備
　�。�1）多功能離子束減薄儀 1套
　�。�2）UPS不間斷電源 1套
　　3.1.2 主要技術(shù)規(guī)格
　　3.1.2.1透射電鏡分辨率
　　*（1）點(diǎn)分辨率：≤ 0.20nm
　　*（2）線分辨率：≤ 0.10nm
　�。�3）信息分辨率：≤ 0.14nm
　　3.1.2.2加速電壓
　　*（1）加速電壓：300kV（最高）；≤ 50kV（最低）
　�。�2）高壓穩(wěn)定性：≤ 1 ppm/10min
　　3.1.2.3電子槍
　　*（1）類型：肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
　�。�2）束流：1nm束斑電流 ≥ 0.5nA
　�。�3）最大束流：> 100nA
　　（4）最小能量色散：≤ 0.8eV（300kV下）
　�。�5）透射模式(TEM)：最小束斑尺寸 ≤ 2 nm
　　（6）微區(qū)分析模式：最小束斑尺寸 ≤ 0.4 nm
　�。�7）束斑漂移：≤ 1nm/min
　　3.1.2.4 物鏡
　�。�1）球差系數(shù)：≤ 1.2 mm
　�。�2）色差系數(shù)：≤ 1.8 mm
　?�。�2）最大：≥ 1,000,000倍
　　3.1.2.6 相機(jī)長(zhǎng)度
　　（1）最�。� ≤ 120mm
　�。�2）最大： ≥ 2,000mm
　　3.1.2.7 樣品臺(tái)
　�。�1）標(biāo)準(zhǔn)低背景雙傾樣品臺(tái)最大傾斜角度：? ≥ ± 35°，? ≥ ± 30°
　�。�2）樣品移動(dòng)范圍：X/Y ≥ 2 mm
　　3.1.2.8 掃描透射（STEM)）分辨率：? 0.17 nm
　　3.1.2.9 能譜儀（EDS）
　�。�1）固體角：≥ 0.13 sr., 取出角：≥ 20°
　�。�2）有效探測(cè)器面積：30 mm²
　�。�3）能量分辨率： ? 136eV（Mn K?線）
　�。�4）元素分析范圍：B5-U92
　　3.1.2.10 CCD相機(jī)及成像系統(tǒng)
　　*（1）像素：2048 2048
　�。�2）動(dòng)態(tài)范圍：≥ 14-bit
　　3.1.2.11 電子能量損失譜及能量過(guò)濾成像系統(tǒng)
　�。�1）球差校正：3rd Order校正
　�。�2）入口孔徑：5mm
　　（3）能量分辨率：? 0.6eV
　�。�4）CCD相機(jī)像素：2048 2048
　　3.1.2.12 多功能離子束減薄儀
　　（1）離子束能量：0.8~10.0keV
　�。�2）樣品冷卻：溫度控制精度? ±10℃
　　（3）樣品X方向移動(dòng)：范圍3mm；精度0.1mm
　　（4）離子刻蝕和鍍膜面積：直徑25mm
　　3.1.2.13 UPS不間斷電源
　�。�1）功率：15kW
　�。�2）延續(xù)時(shí)間：≥ 1小時(shí)
　　3.2 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
　　3.2.1 產(chǎn)品配置要求
　　3.2.1.1 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主機(jī)一臺(tái)，包括：
　�。�1）電子顯微鏡基本單元 1套
　�。�2）四軸馬達(dá)樣品臺(tái) 1套
　�。�3）電鏡控制及Windows XP 操作系統(tǒng) 1套
　�。�4）ETD, LF-GSED, GSED三個(gè)二次電子檢測(cè)器 1套
　�。�5）背散射電子檢測(cè)器 1套
　�。�6）CCD相機(jī) 1套
　�。�7）電鏡操作臺(tái) 1套
　　3.2.1.2 空氣壓縮機(jī) 1套
　　3.2.1.3 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) 1套
　　3.2.1.4 設(shè)備正常運(yùn)行和保養(yǎng)所需的標(biāo)準(zhǔn)備品備件、專用工具 1套
　　3.2.1.5 備用場(chǎng)發(fā)射燈絲 2套
　　3.2.1.6 備用400um光闌（每套3只） 　　　　　　　　　　　 2套
　　3.2.1.7 陶瓷GSED探測(cè)器及接口 1套
　　3.2.1.8 能譜儀與電子背散射儀一體化系統(tǒng) 1套
　　3.2.1.9 UPS不間斷電源 1套
　　3.2.2 主要技術(shù)規(guī)格
　　3.2.2.1 掃描電鏡圖像分辨率
　�。�1）二次電子像分辨率
　　高真空模式：≤ 1.2nm（30kV）；≤ 3.0nm（1kV）
　　低真空模式：≤ 1.5nm（30kV）；≤ 3.0nm（3kV）
　　環(huán)境真空模式：≤ 1.5nm（30kV）
　�。�2）背散射電子像分辨率：≤ 2.5nm（30kV）
　　3.2.2.2 加速電壓： 0.2kV－30KV
　　3.2.2.3 放大倍數(shù)：12倍－100萬(wàn)倍
　　*3.2.2.4 電子槍：肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍, 最大束流100nA
　　3.2.2.5 樣品室
　�。�1）樣品臺(tái)（4軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）
　　X ≥ 50mm；Y ≥ 50mm；Z ≥ 50mm，T ≥- 15～+75°（手動(dòng)）；R=360°
　�。�2）樣品室尺寸: ≥ 250mm
　�。�3）可加配熱臺(tái)和拉伸臺(tái)
　�。�4）配有能譜和EBSD接口
　　3.2.2.6 真空系統(tǒng)
　�。�1）高真空模式：優(yōu)于6×10-4Pa
　　（2）低真空模式：10Pa～130Pa
　　（3）環(huán)境真空模式：10Pa～4000Pa
　　3.2.2.7 能譜儀與電子背散射儀一體化系統(tǒng)
　　能譜儀部分
　　*（1）探頭類型：電制冷硅漂移（SDD）探測(cè)器
　　*（2）能量分辨率（MnK?）：≤ 129eV（≥ 4000CPS條件下）
　�。�3）元素分析范圍：B5~U92
　�。�4）可輸出最大計(jì)數(shù)率：大于100,000CPS
　　（5）可處理最大計(jì)數(shù)率：大于500,000CPS
　　背散射電子衍射儀部分
　�。�1）EBSD探頭：高分辨率數(shù)字CCD相機(jī)
　�。�2）花樣分辨率：≥ 640 480
　�。�3）花樣指標(biāo)化速度： ≥ 150幅/秒，且標(biāo)定準(zhǔn)確率 > 99%
　�。�4）花樣指標(biāo)化能力：能對(duì)7個(gè)晶系的所有晶體衍射花樣自動(dòng)標(biāo)定
　�。�5）提供常見(jiàn)物相的晶體學(xué)數(shù)據(jù)庫(kù)
　　3.2.2.7 USB不間斷電源
　�。�1）功率：10kW
　　（2）延續(xù)時(shí)間：≥ 1小時(shí)
　　四、設(shè)備產(chǎn)地及供貨期
　　4.1 除3.1.1.9（2）和3.2.1.9項(xiàng)UPS不間斷電源可選國(guó)產(chǎn)設(shè)備外，其余設(shè)備（包括附件）產(chǎn)地均為國(guó)外。
　　4.2 場(chǎng)發(fā)射透射電鏡供貨期為8~10個(gè)月
　　4.3 場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡供貨期為4~6個(gè)月
　　五、售后服務(wù)
　　5.1 設(shè)備安裝調(diào)試
　　儀器到達(dá)用戶所在地后，在接到用戶通知后2周內(nèi)執(zhí)行安裝調(diào)試直至達(dá)到驗(yàn)收指標(biāo)。
　　5.2 技術(shù)培訓(xùn)
　　在用戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行必要的培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括儀器的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護(hù)等。
　　5.3 保修期
　　提供1年以上的免費(fèi)保修，保修期自驗(yàn)收簽字之日起計(jì)算。
　　5.4 維修響應(yīng)時(shí)間
　　應(yīng)在24小時(shí)內(nèi)對(duì)用戶的服務(wù)要求做出響應(yīng)，一般問(wèn)題應(yīng)在三個(gè)工作日內(nèi)解決，重大問(wèn)題或其他無(wú)法迅速解決的問(wèn)題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確解決方案。
　　六、投標(biāo)商準(zhǔn)入資格
　�。�1）具有在境內(nèi)的獨(dú)立法人資格以及相關(guān)資質(zhì)證明文件。
　　（2）具備中國(guó)政府采購(gòu)法第二十二條的條件。
　　（3）有意參與投標(biāo)的供應(yīng)商在十日內(nèi)（截止日期：2009年1月14日）與我辦聯(lián)系，以便于有效安排開標(biāo)事宜。
　�。�4）本次招標(biāo)為進(jìn)口設(shè)備，謝絕國(guó)內(nèi)產(chǎn)品制造商投標(biāo)。
　　（5）電話告知，并遞交投標(biāo)申請(qǐng)表以及營(yíng)業(yè)執(zhí)照傳真與我們。
　　七、報(bào)名辦法
　　招標(biāo)人：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
　　招標(biāo)人地址：***
　　哈爾濱工業(yè)大學(xué)行政辦公樓207室招標(biāo)采購(gòu)辦公室
　　招標(biāo)聯(lián)系人：張立 聯(lián)系電話***
　　技術(shù)聯(lián)系人：孟慶昌 聯(lián)系電話***
　　郵政編碼：150001